Bergakademie trumpft mit Reinraum auf

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<p class="artikelinhalt">Doktorandin Denise Kreßner-Kiel begutachtet im neuen Reinraum einen so genannten Wafer. Auf diesen Scheiben aus Halbleitermaterialien (meist Silizium, aber auch Germanium oder Galliumarsenid) werden durch entsprechende Bearbeitungsgänge viele identische Chips, also integrierte Schaltungen, aufgebracht. </p>

Doktorandin Denise Kreßner-Kiel begutachtet im neuen Reinraum einen so genannten Wafer. Auf diesen Scheiben aus Halbleitermaterialien (meist Silizium, aber auch Germanium oder Galliumarsenid) werden durch entsprechende Bearbeitungsgänge viele identische Chips, also integrierte Schaltungen, aufgebracht.

Bild: Eckardt Mildner

Freiberg

16.12.2008

Bergakademie trumpft mit Reinraum auf

Von Sven Frommhold

Sanierung des Gellert-Baus nach sechseinhalb Jahren abgeschlossen - Forschung an Halbleitermaterialien kann intensiviert werden

Freiberg. Die TU Bergakademie Freiberg hat einen neuen Trumpf in Forschung und Lehre: einen 250Quadratmeter großen Reinraum mit verschiedenen Abteilungen, mit dem sich Stadt und Universität noch mehr als bisher als Zentrum für Halbleitermaterialien profilieren können. Mit der Eröffnung des neuen Komplexes wurde zugleich die Sanierung des...

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